濕度感測技術(shù)是廣泛的應(yīng)用，包括HVAC和制冷至關(guān)重要的; 醫(yī)療設(shè)備，如CPAP機(jī)和呼吸機(jī); 用于食品和制藥工業(yè)資產(chǎn)跟蹤和存儲裝置; 工業(yè)控制系統(tǒng); 氣象儀器; 汽車氣候控制和除霧; 和移動計(jì)算設(shè)備。盡管行業(yè)和需要它的應(yīng)用程序的數(shù)量，相對濕度(RH)的測量是在環(huán)境傳感越困難的技術(shù)挑戰(zhàn)。

　　濕度感測儀器通常依靠溫度，壓力，質(zhì)量，或在一個(gè)物質(zhì)的機(jī)械或電氣的變化測量時(shí)水分被吸收從該濕度然后可以的。機(jī)械濕度計(jì)(圖1)傳統(tǒng)上使用的人類或動物的毛發(fā)，因?yàn)轭^發(fā)的長度隨濕度可測量的變化來測量濕度。如今，現(xiàn)代電子濕度傳感器，通過測量在電電容或電阻，或在出現(xiàn)冷凝的溫度濕度有關(guān)的變化進(jìn)行操作。

　　相對濕度傳感器，特別是那些依賴于吸濕的聚合物電介體材料的電容變化的測量，具有應(yīng)用和使用的要求，包括：

　　1、板組裝過程中保護(hù)該傳感器，特別是在回流焊接的需要，并需要隨后再水合所述傳感器;

　　2、以防止損壞或污染傳感器的產(chǎn)品生命周期中的需要;

　　3、上長時(shí)間暴露的傳感器精度的潛在影響到溫度和/或濕度的極端;

　　4、需要的溫度校正和線性化應(yīng)用到濕度讀數(shù)。

　　一些這些要求從在電容型傳感器中使用的聚酰亞胺膜的自然特性莖。其它的是傳感器的開放式空腔封裝的結(jié)果暴露在管芯和傳感器薄膜到環(huán)境中。CMOS的制造技術(shù)使人們有可能建立一個(gè)******的先進(jìn)的電容式濕度傳感器提供的傳感元件的創(chuàng)新，具有成本效益的封面。服用這些單芯片濕度傳感器一探究竟之前，讓我們回顧一些RH測量的基本原則。